TY  - BOOK
AU  - Скляров, Н. Е.
AU  - Сапожков, К. А.
ED  - Пензенский политехнический ин-т
TI  - Физические основы технологии микроэлектронной аппаратуры
PY  - 1980///
CY  - Пенза
PB  - ППИ
ER  -