@book{5538467,
	author = {Фреик, Д.М. and Галущак, М.А.},
	title = {Физика и технология полупроводниковых пленок},
	publisher = {Выща школа. Изд-во при Львов. гос. ун-те},
	year = {1988},
	address = {Львов}
}