TY  - BOOK
AU  - Фреик, Д.М.
AU  - Галущак, М.А.
AU  - Межиловская, Л.И.
TI  - Физика и технология полупроводниковых пленок
SN  - 5-11-000541-9
PY  - 1988///
CY  - Львов
PB  - Выща школа. Изд-во при Львов. гос. ун-те
N2  - Библиогр.: с. 143-150 (179 назв.)
ER  -