TY  - BOOK
AU  - Ананьев, О.А.
AU  - Дьячков, Б.А.
AU  - Павлов, В.Я.
TI  - Высокочастотные источники ионов для ионной технологии
T2  - Препринт
VL  - № 15
PY  - 1990///
CY  - Киев
PB  - ИФ
N2  - Библиогр.: с. 29-33 (53 назв.)
ER  -