TY  - BOOK
AU  - Марголин, В. И.
AU  - Тупик, В. А.
TI  - Основы нанотехнологии. Электронная литография и ионная имплантация
SN  - 5-7629-0297-8
PY  - 2000///
CY  - СПб.
PB  - ЛЭТИ
KW  - Нанотехнологии
KW  - Учебно-методические пособия для высших учебных заведений
KW  - RU\NLR\auth\66830353
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Литография электронная
KW  - Руководства, пособия и т.п. для высшей школы
KW  - RU\NLR\auth\66656644
KW  - Учебные издания для высшей школы
KW  - Ионная имплантация
KW  - RU\NLR\auth\66473928
KW  - З844.1-06я73-1
N2  - Библиогр.: с. 54
ER  -