@book{5656243,
	author = {Дубовой, Н.Д.},
	title = {Автоматизация оборудования и технологических процессов в микроэлектронике},
	publisher = {Б. и.},
	year = {1979 (Вып. дан. 1980)},
	address = {Москва},
	note = {Загл. обл.: Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники: "Автоматизация оборуд. и технол. процессов в микроэлектронике"}
}