TY  - BOOK
AU  - Дубовой, Н.Д.
ED  - ВКП(б)
TI  - Автоматизация оборудования и технологических процессов в микроэлектронике
PY  - 1979/// (Вып. дан. 1980)
CY  - Москва
PB  - Б. и.
KW  - з844.1-06-5-05я43
KW  - rubbk
ER  -