TY  - BOOK
AU  - Ковалев, Л.К.
TI  - Вакуумное оборудование для производства тонкопленочных структур квантовой электроники
T2  - Обзоры по электронной технике
VL  - Вып. 886Вып. 2
PY  - 1982///
CY  - М.
PB  - ЦНИИ "Электроника"
N2  - Библиогр.: с. 74-83
ER  -