TY  - BOOK
AU  - Васильев, В. Ю.
TI  - Модели и механизмы процессов осаждения тонких слоев из газовой фазы при пониженном давлении
T2  - Обзоры по электронной технике
VL  - Вып. 1546Вып. 3
PY  - 1990///
CY  - М.
PB  - Изд-во ЦНИИ "Электроника"
N2  - Библиогр.: с. 50-56
ER  -