TY  - BOOK
AU  - Александров, С. Е.
TI  - Технология материалов электронной техники
PY  - 2005///
CY  - Санкт-Петербург
PB  - Изд-во Политехнического университета
KW  - Тонкие пленки
KW  - Осаждение из газовой фазы
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\661129986
KW  - Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Технология производства -- Учебник для высшей школы
KW  - З843.08я73-1
KW  - rubbk
KW  - З85-03я73-1
KW  - З844.13-060.7я73-1
N2  - Библиогр.: с. 91 (10 назв.)
ER  -