TY  - BOOK
AU  - Калинина, И. С.
AU  - Каракеян, В. И.
AU  - Личу, Н. Ф.
ED  - "Экология микроэлектроники-90", науч.-техн. конф.
TI  - Вопросы прецизионных тепловых процессов в ЧПП
PY  - 1990///
CY  - М.
PB  - МИЭТ
N2  - Библиогр.: с. 96
ER  -