TY  - BOOK
AU  - Латышенко, В.Ф.
AU  - Шаховцов, В.И.
AU  - Шейхет, Э.Г.
TI  - Растровая электронная микроскопия дефектов в кремнии
T2  - Препринт
VL  - № 7
PY  - 1986///
CY  - Киев
PB  - Ин-т физики. ОНТИ
N2  - Библиогр.: с. 22-26
ER  -