@book{5776162,
	author = {Аничкова, Н.С.},
	title = {Элементы морфологии интегральных микросхем на МДП-структурах},
	publisher = {ЛЭТИ},
	year = {1981},
	address = {Л.},
	note = {В надзаг.: М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Ленингр. электротехн. ин-т им. В.И. Ульянова (Ленина)}
}