TY - BOOK AU - Ильясов, А.З. TI - РАСПРЕДЕЛЕНИЕ дефектов в кремнии, подвергнутом терморадиационной обработке T2 - Препринт VL - № 32 PY - 1990/// CY - Ташкент PB - Б. и. N2 - Библиогр.: с. 11 ER -