TY  - BOOK
AU  - Фролов, И.А.
AU  - Козейкин, Б.В.
AU  - Чурин, С.А.
AU  - Забурдяев, В.С.
TI  - Технология изготовления сумбикронных слоев арсенида галлия
T2  - Обзоры по электронной технике
VL  - Вып. 397Вып. 9
PY  - 1976///
CY  - Москва
PB  - Б. и.
N2  - Библиогр.: с. 44-48
ER  -