TY  - BOOK
AU  - Блинов, И.Г.
AU  - Кожитов, Л.В.
TI  - Оборудование полупроводникового производства
PY  - 1986///
CY  - М.
PB  - Машиностроение
N2  - Библиогр.: с. 256-258 (47 назв.); Предм. указ.: с. 259-263
ER  -