TY  - BOOK
AU  - Горелик, С. С.
TI  - ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ активность границ зерен в профилированном поликристаллическом кремнии
T2  - Препринт
PY  - 1989///
CY  - Черноголовка, М.
PB  - Б. и., Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особо чистых материалов
N2  - Библиогр.: с. 37-38
ER  -