@book{5895321,
	author = {Двуреченский, А.В. and Серяпин, В.Г.},
	title = {Анодное окисление кремния},
	publisher = {Б. и.},
	year = {1977},
	series = {АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. Препринт},
	address = {Новосибирск}
}