TY  - BOOK
AU  - Двуреченский, А.В.
AU  - Серяпин, В.Г.
TI  - Анодное окисление кремния
T2  - АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. Препринт
PY  - 1977///
CY  - Новосибирск
PB  - Б. и.
N2  - Библиогр.: с. 24-25
ER  -