TY  - BOOK
AU  - Кобцев, Ю.Д.
TI  - Технология полупроводниковых материалов и приборов
PY  - 1975///
CY  - Киев
PB  - КИНХ
KW  - Полупроводниковые приборы
KW  - Производство
KW  - psbo
N2  - Библиогр.: с. 66
ER  -