TY  - BOOK
AU  - Данилин, Б.С.
TI  - Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
SN  - 5-283-03939-0
PY  - 1989///
CY  - М.
PB  - Энергоатомиздат
N2  - Библиогр.: с. 316-324 (182 назв.)
ER  -