@book{5994185,
	author = {Верховский, Е. И. and Епифанов, Г. И.},
	title = {Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния},
	publisher = {Б. и.},
	year = {1972},
	series = {Обзоры по электронной технике},
	address = {Москва}
}