TY  - BOOK
AU  - Верховский, Е. И.
AU  - Епифанов, Г. И.
TI  - Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния
T2  - Обзоры по электронной технике
VL  - Вып. 42Вып. 9
PY  - 1972///
CY  - Москва
PB  - Б. и.
N2  - Библиогр.: с. 21-23
ER  -