TY  - BOOK
AU  - Резвый, Р.Р.
AU  - Финарев, М.С.
TI  - Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике
T2  - Обзоры по электронной технике
VL  - Вып. 472Вып. 7
PY  - 1977///
CY  - Москва
PB  - Б. и.
N2  - Библиогр.: с. 71-80
ER  -