@book{6006797,
	author = {Мельянец, Г. И.},
	title = {Формирование конфигурации элементов полупроводниковых приборов и ИС с помощью ионного травления},
	publisher = {Б. и.},
	year = {1977},
	series = {Зарубежная электронная техника},
	address = {Москва},
	note = {На 3-й с. авт.: Лабунов, В.А., Мельянец, Г.И., Вальков, Б.И. [и др.]}
}