TY  - BOOK
AU  - Мельянец, Г. И.
AU  - Лабунов, В. А.
AU  - Вальков, Б. И.
TI  - Формирование конфигурации элементов полупроводниковых приборов и ИС с помощью ионного травления
T2  - Зарубежная электронная техника
VL  - 17 (163)
PY  - 1977///
CY  - Москва
PB  - Б. и.
N2  - Библиогр.: с. 44-46, 48
ER  -