TY  - BOOK
TI  - Приборостроение для микроэлектроники: технология, физика и диагностика тонкопленочных структур, компьютеризация приборов
T2  - Тезисы докладов конференции
VL  - Вып. 246Вып. 4
PY  - 1986///
CY  - М.
PB  - Изд-во ЦНИИ "Электроника"
N2  - Библиогр. в конце ст
ER  -