TY  - BOOK
TI  - Разработка новых методов и оборудования для физико-аналитических исследований и сверхвысоковакуумной технологии производства изделий микроэлектроники
T2  - Тезисы докладов конференции
VL  - Вып. 302Вып. 1
PY  - 1989///
CY  - М.
PB  - Изд-во ЦНИИ "Электроника"
N2  - Библиогр.: с. 48
ER  -