TY  - BOOK
AU  - Черняк, Е.Я.
TI  - Осаждение тонких пленок из низкоэнергетических ионных пучков
T2  - Обзоры по электронной технике
VL  - Вып. 676Вып. 14
PY  - 1979///
CY  - Москва
PB  - Электроника
N2  - Библиогр.: с. 49-55
ER  -