@book{6206672,
	author = {Луцет, Б.Я.},
	title = {Газоразрядные источники излучения для фотолитографии},
	publisher = {Б. и.},
	year = {1978},
	series = {Обзоры по электронной технике},
	address = {Москва},
	note = {Перед загл. авт.: А.М. Данильченко, Б.Я. Луцет, В.А. Самодергин [и др.]}
}