TY  - BOOK
AU  - Луцет, Б.Я.
AU  - Данильченко, А.М.
AU  - Самодергин, В.А.
TI  - Газоразрядные источники излучения для фотолитографии
T2  - Обзоры по электронной технике
VL  - Вып. 522Вып. 1
PY  - 1978///
CY  - Москва
PB  - Б. и.
N2  - Библиогр.: с. 32-34
ER  -