@book{6211680,
	author = {Голото, И. Д. and Докучаев, Б. П.},
	title = {Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем},
	publisher = {Энергия},
	year = {1975},
	address = {Москва},
	note = {Перед загл. авт.: И.Д. Голото, Б.П. Докучаев, Г.Д. Колмогоров}
}