TY  - BOOK
AU  - Голото, И. Д.
AU  - Докучаев, Б. П.
AU  - Колмогоров, Г. Д.
TI  - Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем
PY  - 1975///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Микроэлектронные схемы, интегральные
KW  - Производство
KW  - psbo
KW  - Полупроводниковые приборы
N2  - Список лит.: с. 203-207 (90 назв.)
ER  -