TY  - BOOK
AU  - Калябина, И.А.
TI  - Физические методы анализа поверхностей в электронной технике
T2  - Обзоры по электронной технике
VL  - Вып. 681Вып. 16
PY  - 1979///
CY  - Москва
PB  - ЦНИИ "Электроника"
N2  - Библиогр.: с. 30-44
ER  -