TY  - BOOK
AU  - Карацюба, А.П.
TI  - Ионная имплантация в технологии кремниевых приборов и интегральных схем
T2  - Зарубежная электронная техника
VL  - 18 (188)
PY  - 1978///
CY  - Москва
PB  - ЦНИИ Электроника
N2  - Библиогр.: с. 74-77
ER  -