TY - BOOK AU - Безбородова, В.М. TI - Состояние и перспективы развития жидкостной эпитаксии T2 - Зарубежная электронная техника VL - 9 (204) PY - 1979/// CY - Москва PB - ЦНИИ "Электроника" N2 - Библиогр.: с. 67-72 ER -