TY  - BOOK
AU  - Бутурлин, А.И.
AU  - Голубская, И.Э.
AU  - Чистяков, Ю.Д.
TI  - Методы исследования и контроля чистоты поверхности материалов электронной техники
PY  - 1989///
CY  - М.
PB  - МИЭТ
N2  - Библиогр.: с. 90
ER  -