TY  - BOOK
AU  - Глудкин, О.П.
AU  - Густов, А.Е.
TI  - Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС
T2  - Массовая библиотека инженера "Электроника"
VL  - 26
PY  - 1981///
CY  - М.
PB  - Радио и связь
N2  - Библиогр.: с. 105-108 (66 назв.)
ER  -