TY  - BOOK
AU  - Берри, Р.
AU  - Гаррис, М.
AU  - Холл, П.
AU  - Генкин, В.И.
AU  - Гиваргизов, Е.И.
TI  - Тонкопленочная технология
PY  - 1972///
CY  - Москва
PB  - Энергия
KW  - Пленки тонкие
KW  - Получение
KW  - psbo
KW  - Микроэлектронные схемы, интегральные
KW  - Производство
N2  - Список лит.: с. 329-335
ER  -