TY  - BOOK
AU  - Мьюрарка, Ш.П.
TI  - Силициды для СБИС
PY  - 1986///
CY  - М.
PB  - Мир
N2  - Библиогр.: с. 6-7 (11 назв.), 160-169; Предм. указ.: с. 170-174
ER  -