TY - BOOK AU - Андреев, В.М. TI - Материалы микроэлектронной техники T2 - Учебное пособие для вузов SN - 5-256-00284-8 PY - 1989/// CY - М. PB - Радио и связь N2 - Библиогр.: с. 347 (11 назв.) ER -