@book{6343250,
	author = {Старков, В.В.},
	title = {Некоторые особенности диффузии галлия при производстве кремниевых высоковольтных приборов},
	publisher = {ИХФ},
	year = {1981},
	series = {Препринт},
	address = {Черноголовка}
}