TY  - BOOK
AU  - Старков, В.В.
TI  - Некоторые особенности диффузии галлия при производстве кремниевых высоковольтных приборов
T2  - Препринт
PY  - 1981///
CY  - Черноголовка
PB  - ИХФ
N2  - Библиогр.: с. 18
ER  -