TY  - BOOK
AU  - Данилин, Б.С.
AU  - Киреев, В.Ю.
TI  - Ионное травление микроструктур
T2  - Массовая библиотека инженера
VL  - 21
PY  - 1979///
CY  - Москва
PB  - Сов. радио
KW  - Микроэлектронные схемы, интегральные
KW  - Производство
KW  - psbo
KW  - 32.844
KW  - rubbk
KW  - з844.1-060.14,07
N2  - Библиогр.: с. 95-102 (158 назв.)
ER  -