TY  - BOOK
AU  - Боровцов, П.В.
TI  - Литографические процессы в микроэлектронике
SN  - 5-88151-043-7
PY  - 1995///
CY  - Пермь
PB  - Перм. гос. техн. ун-т
N2  - Библиогр.: с. 55-57
ER  -