TY  - BOOK
AU  - Котенко, Г.И.
TI  - Технология изготовления тонкопленочных элементов приборов
PY  - 1979///
CY  - Ленинград
PB  - Ленингр. электротехн. ин-т
KW  - Микроэлектронные схемы, интегральные
KW  - Производство
KW  - psbo
KW  - з844.13-06я73-2
KW  - rubbk
N2  - Библиогр.: с. 58 (7 назв.)
ER  -