TY  - BOOK
AU  - Белов, И.А.
AU  - Шеленшкевич, В.А.
AU  - Шуб, Л.И.
TI  - Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем
SN  - 5-7325-0001-4
PY  - 1991///
CY  - Л.
PB  - Политехника
N2  - Библиогр.: с. 283-286 (77 назв.)
ER  -