TY  - BOOK
AU  - Пилянкевич, А.Н.
TI  - Лазерное напыление тонких пленок
T2  - Препринт
VL  - № 3
PY  - 1980///
CY  - Киев
PB  - ИПМ
N2  - Библиогр.: с. 29-32
ER  -