@book{6550488,
	author = {Дидык, А. Ю. and Вариченко, В. С.},
	title = {Радиационно-стимулированная диффузия примесей в монокристаллах кремния и алмаза},
	publisher = {ОИЯИ},
	year = {1995},
	series = {Сообщения Объединенного института ядерных исследований},
	address = {Дубна}
}