@book{655984,
	author = {Воротынцев, В. М. and Перевощиков, В. А.},
	title = {Базовые технологии микро- и наноэлектроники},
	publisher = {Нижегородский государственный технический университет},
	year = {2006},
	address = {Нижний Новгород}
}